4. マルチレンズシステムでガラスプレートの大型化に対応

年々大型化が進むガラスプレートからより多くのパネルを切り出すようになると、一回の露光でより広い範囲へのパターニングが可能な高い生産性が求められます。

これを実現するためにニコンが独自開発した技術が「マルチレンズシステム」です。大型ガラスプレートを効率よく露光するために、ニコンでは複数のレンズを2列に並べることで、広い露光範囲を確保しました。最も大きなFPD露光装置であるFX-103SH/103Sでは、14本ものレンズを並べ、これを1本の巨大レンズのように精密に制御して露光しています。
ガラスプレートの表面には、生産工程で受ける熱などの影響によって歪みが生じます。ニコンのマルチレンズシステムは、この歪みを正確に検出した上で、レンズ1本1本の転写像の位置や焦点位置を細かく制御して補正する機構を搭載。プレート面のわずかな歪みにも追従し、高精度な露光を可能にしています。