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2022年

• 2022年12月15日
  中国におけるBtoB事業の子会社を合併
• 2022年3月24日
  第8世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-88S」を発売

2021年

• 2021年10月26日
  FPD露光装置「FX-6AS」を発売
• 2021年5月20日
  “霧”を用いた透明導電性薄膜の製造 ～表示デバイスのエコな製造革新へ～

2018年

• 2018年2月22日
  ニコンFPD露光装置「FX-103S」「FX-103SH」を発売

2016年

• 2016年3月9日
  ニコンFPD露光装置「FX-68S」を発売

2014年

• 2014年10月22日
  ニコンFPD露光装置「FX-86S2」「FX-86SH2」を発売

2012年

• 2012年10月23日
  ニコン液晶露光装置「FX-67S」を発売
• 2012年2月6日
  第4回「ものづくり日本大賞」において内閣総理大臣賞を受賞

2011年

• 2011年10月13日
  ニコン 液晶露光装置「FX-66S」「FX-76S」「FX-86S」を発売

2009年

• 2009年9月29日
  精機カンパニー生産子会社再編の詳細について

2008年

• 2008年10月20日
  ニコン 液晶露光装置　「FX-75S」「FX-85S」の発売について