製品紹介
FX-103SH/103S
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| FX-103SH | FX-103S | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 2.2 µm (g+h+i-line) | 3.0 µm (g+h+i-line) |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.5 µm | |
| プレートサイズ | 2,940 mm × 3,370 mm | |
| タクトタイム | 60 s/plate Conditions: 2,940 mm × 3,370 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
|
FX-88S
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| 解像度（L/S） | 1.5 µm (i-line) |
|---|---|
| 投影倍率 | 1:1 |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.40 µm |
| プレートサイズ | 2,200 mm × 2,500 mm |
| タクトタイム | 47 s/plate Conditions: 2,200 mm × 2,500 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
FX-6AS
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| 解像度（L/S） | 1.0 µm*1 (i-line) |
|---|---|
| 投影倍率 | 1:1 |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.23 µm |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm |
| タクトタイム | 42 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
- *1位相シフトマスク使用時
FX-68SH/68S
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| FX-68SH | FX-68S | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 1.2 µm*1 (i-line) | 1.5 µm (i-line) |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.27 µm | |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm | |
| タクトタイム | 42 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
|
- *1位相シフトマスク使用時
FX-67S2/67S
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| FX-67S2 | FX-67S | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 2.0 µm (g+h+i-line) | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.5 µm | |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm | |
| タクトタイム | 57 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
61 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
FX-66S2/66S
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| FX-66S2 | FX-66S | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm (g+h+i-line) | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.6 µm | |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm | |
| タクトタイム | 53 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
55 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
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