3. ガラスプレートの大型化と高精細化への対応

現在、最も大きな第10.5世代のガラスプレートは、3.37 m×2.94 mものサイズになります。ニコンはこの第10.5世代のガラスプレートにも対応。65インチ以上の大型パネルも効率的に生産できるFX-103SH/103Sを出荷し、量産に貢献しています。

高精細なFPDを生産するには、レンズで正確に光を当てるとともに、ガラスプレートの正確な位置決め、ガラスプレート表面のゆがみの計測・調整など、さまざまな技術が必要不可欠です。ニコンはこれらの技術を独自に開発し、FPD露光装置に投入することで、高精度と高生産性の両立を実現しています。